安徽凌光紅外科技有限公司近日宣布，其自主研發(fā)的商用激光誘導電阻變化設備LaserSight系列正式投入市場，標志著國產(chǎn)電性失效分析設備在Thermal/EMMI/Obirch（TIVA）三大技術領域實現(xiàn)全覆蓋。該設備突破了國外廠商長期壟斷的技術壁壘，為集成電路、功率器件及光電器件制造領域提供了國產(chǎn)解決方案。

激光誘導電阻變化技術（OBIRCH）作為電性失效分析的核心手段之一，與熱發(fā)射（Thermal Emission）和光發(fā)射（Photon Emission）并稱行業(yè)三大標準定位技術。自1997年日本企業(yè)首次推出商業(yè)化設備以來，全球市場長期被日本H公司和美國F公司占據(jù)，兩家企業(yè)合計市場份額超過80%。凌光紅外此次推出的LaserSight系列，實現(xiàn)了從技術原理到設備制造的完全自主化，填補了國內在該領域的空白。

據(jù)企業(yè)技術負責人介紹，LaserSight系列設備針對金屬互聯(lián)缺陷、金屬-半導體短路等復雜場景優(yōu)化設計，特別適用于集成電路封裝測試、功率器件可靠性分析以及光電器件失效定位。與傳統(tǒng)InGaAs和Thermo技術路線相比，該系列在金屬層缺陷檢測方面表現(xiàn)出更高靈敏度，設備核心參數(shù)已達到國際旗艦機型水平。目前，首批交付的多臺設備已在客戶端穩(wěn)定運行超過六個月，性能指標獲得行業(yè)認可。

公開資料顯示，凌光紅外成立于2021年12月，聚焦高端實驗室檢測儀器國產(chǎn)化，核心團隊由半導體設備研發(fā)、光電探測技術及精密機械工程領域的專家組成。企業(yè)成立三年內已形成鎖相紅外熱像儀、微光顯微鏡、激光誘導定位系統(tǒng)三大產(chǎn)品線，其中激光誘導定位系統(tǒng)作為最新突破，直接對標國際頭部企業(yè)產(chǎn)品。

行業(yè)分析人士指出，電性失效分析設備是半導體制造產(chǎn)業(yè)鏈中的關鍵環(huán)節(jié)，其技術突破不僅關乎設備國產(chǎn)化進程，更直接影響芯片良率提升和制程迭代速度。凌光紅外LaserSight系列的商業(yè)化，標志著國內企業(yè)在高端檢測設備領域開始具備國際競爭力，有望推動相關產(chǎn)業(yè)鏈成本下降和供應鏈安全水平提升。

技術文檔顯示，LaserSight系列包含多款機型，其中LaserSight 100作為基礎型號，已實現(xiàn)640×480像素分辨率、微米級定位精度及毫秒級響應速度。該設備支持多種材料體系檢測，兼容從50納米到微米級制程的失效分析需求，特別在金屬互連層缺陷定位方面展現(xiàn)出獨特優(yōu)勢。企業(yè)研發(fā)團隊透露，后續(xù)將推出更高分辨率機型及自動化檢測系統(tǒng)，進一步拓展在先進封裝和第三代半導體領域的應用。