安徽國科量光技術(shù)有限公司在合肥宣布，成功研制出國內(nèi)首臺極紫外波段物質(zhì)吸收譜臺式化儀器，這一成果標(biāo)志著我國在高端科學(xué)儀器領(lǐng)域取得了關(guān)鍵性進展。該儀器由國科量光自主研發(fā)，其核心突破在于利用激光等離子體技術(shù)實現(xiàn)了高亮度短波長光源的臺式化，為相關(guān)科研和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用提供了新的工具。

據(jù)介紹，這臺儀器的工作波段為5至20納米，屬于極紫外范圍。與傳統(tǒng)同步輻射大科學(xué)裝置相比，它具有可規(guī)模化生產(chǎn)、占地面積小、成本較低等顯著優(yōu)勢，能夠作為現(xiàn)有大型裝置的有益補充，滿足更多場景下的科研需求。這一特性使其在半導(dǎo)體、新材料、新能源等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)中具有廣闊的應(yīng)用前景。

國科量光的技術(shù)團隊表示，該儀器的研發(fā)成功得益于激光等離子體技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用。通過這一技術(shù)，團隊成功將高亮度短波長光源集成到臺式設(shè)備中，既保證了性能指標(biāo)，又大幅提升了設(shè)備的實用性和經(jīng)濟性。目前，該儀器已完成實驗室驗證，并進入產(chǎn)業(yè)化準(zhǔn)備階段。

公開資料顯示，國科量光專注于紫外至X射線波段（包括深紫外、真空紫外、極紫外、軟X射線）的高亮度小型化光源及相關(guān)科研儀器的開發(fā)。其產(chǎn)品線涵蓋吸收譜、光電子譜、短波長顯微成像等設(shè)備，并提供面向工業(yè)生產(chǎn)線的原位檢測服務(wù)，形成了從基礎(chǔ)研究到產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的完整技術(shù)鏈條。